VOCs废气处理设备主要利用吸附、燃烧、催化等方法来减少或去除废气中的有害物质，为确保它的准确性和可靠性，在对其进行检查时，会关注以下几个要素。
一、VOCs废气处理设备状态检查
在上电前，应检查电控柜周边环境，保持其周边环境的整洁和干燥。打开压缩空气管道上的总阀门和各执行机构的压缩空气阀门，查看VOCs废气处理设备空气过滤调节器并对其进行排水，调节压力并确定压力是否达到设定要求。
二、燃气阀门和压力检查
打开天然气总阀门，并检查确认点火管路天然气和主管路天然气压力正常，新风风门、助燃风机、吹扫风机过滤网检查新风风门、助燃风机、吹扫风机过滤网是否有杂物或堵塞。查看VOCs废气处理设备水喷淋塔水箱是否有水，水位是否正常，缺水时应及时补水。
三、排污和预热检查
对VOCs废气处理设备系统各排污点进行排污，在预热式催化燃烧中，有机废气温度在100℃以下、浓度较低时，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。储罐与污水池废气分类处理，结合VOCs废气处理设备装置运行实际，做好储罐与污水池废气分类处理，确保安全运行。
四、在线监测位置布置
检查VOCs废气处理设备的位置布置，确保能够及时切断污染源。查看阻火器与爆破片的设计与选型，确保设施具备防火防爆能力。治理设施耗材更换，吸附剂、吸收剂、催化剂、蓄热体、过滤棉等治理设施耗材是否定期更换，并及时处置废过滤棉、废催化剂、废吸附剂、废吸收剂、废有机溶剂等。
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